EVO MC10 – Variable Pressure Scanning Electron Microscope (PVSEM)

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  • Emisor de Tungsteno.
  • Voltage de aceleración: 0.2 a 30 kV.
  • Resolución: 3 nm en alto vacío con electrones secundarios (SE); 4.5 nm con electrones retrodispersos (BSD).
  • Magnificación: 7x a 100kx.
  • Presión variable entre 10 y 400 Pa de nitrógeno o aire.
  • Detectores SE (electrones secundarios en alto vacío), VPSE (electrones secundarios en presión variable) y BSD (en alto vacío y presión variable).
  • Porta muestras 9x.
  • Campo de visualización: 6 mm de diámetro a la distancia de trabajo analítica de 8.5 mm, máximo diámetro de 20 mm a la distancia de trabajo.
  • Platina eucéntrica motorizada en 5 ejes, panel de control con botones giratorios.
  • Sistema de enfriamiento Peltier.
  • Cámara IR para visualización.
  • Operación en 2 canales simultáneos con monitor de imágenes independientes.
  • Sistema de microanálisis de rayos x con detector X-act de 10 mm2, resolución 129 eV, incluye software GSR, Oxford Instruments, software AZtec Energy.
  1. Análisis morfológico.
  2. Análisis elemental por EDS.
  3. Análisis morfológico con presión variable y platina Peltier.
  4. Análisis elemental por EDS con presión variable y platina Peltier.

Nota: Las aplicaciones 3 y 4, serán implementadas próximamente.