EVO MA10 – Variable Pressure Scanning Electron Microscope (PVSEM)

img_mic_evo01
  • Emisor de Tungsteno.
  • Voltaje de aceleración: 0.1 a 30 kV.
  • Resolución: 3 nm en alto vacío con electrones secundarios (SE); 4.5 nm con electrones retrodispersos (BSD).
  • Magnificación: 7x a 100kx.
  • Presión variable entre 10 y 400 Pa de nitrógeno o aire.
  • Detectores SE (electrones secundarios en alto vacío), VPSE (electrones secundarios en presión variable) y BSD (electrones retrodispersos en alto vacío y presión variable).
  • Porta muestras 9x.
  • Campo de visualización: Máximo 6 mm de diámetro a la distancia de trabajo analítica de 8.5 mm, máximo 20 mm de diámetro a la mayor distancia de trabajo.
  • Platina eucéntrica motorizada en 5 ejes, panel de control con botones giratorios.
  • Sistema de enfriamiento Peltier.
  • Cámara IR para visualización.
  • Operación en 2 canales simultáneos con monitor de imágenes independientes.
  • Sistema de microanálisis de rayos x con detector Oxford Instruments X-act de 10 mm2, resolución 129 eV, incluye software GSR AZtec Energy.2, resolución 129 eV, incluye software GSR, Oxford Instruments, software AZtec Energy.
  1. Análisis morfológico.
  2. Análisis elemental por EDS.
  3. Análisis morfológico con presión variable y platina Peltier.
  4. Análisis elemental por EDS con presión variable y platina Peltier.

Nota: La aplicación 4, serán implementada próximamente.

​