
Especificaciones técnicas
- Emisor de Tungsteno.
- Voltaje de aceleración: 0.1 a 30 kV.
- Resolución: 3 nm en alto vacío con electrones secundarios (SE); 4.5 nm con electrones retrodispersos (BSD).
- Magnificación: 7x a 100kx.
- Presión variable entre 10 y 400 Pa de nitrógeno o aire.
- Detectores SE (electrones secundarios en alto vacío), VPSE (electrones secundarios en presión variable) y BSD (electrones retrodispersos en alto vacío y presión variable).
- Porta muestras 9x.
- Campo de visualización: Máximo 6 mm de diámetro a la distancia de trabajo analítica de 8.5 mm, máximo 20 mm de diámetro a la mayor distancia de trabajo.
- Platina eucéntrica motorizada en 5 ejes, panel de control con botones giratorios.
- Sistema de enfriamiento Peltier.
- Cámara IR para visualización.
- Operación en 2 canales simultáneos con monitor de imágenes independientes.
- Sistema de microanálisis de rayos x con detector Oxford Instruments X-act de 10 mm2, resolución 129 eV, incluye software GSR AZtec Energy.2, resolución 129 eV, incluye software GSR, Oxford Instruments, software AZtec Energy.
Aplicaciones
- Análisis morfológico.
- Análisis elemental por EDS.
- Análisis morfológico con presión variable y platina Peltier.
- Análisis elemental por EDS con presión variable y platina Peltier.
Nota: La aplicación 4, serán implementada próximamente.
Imágenes